
紫外设备目前以DPSS全固态紫外激光器为基础,可以应对大部分的激光微加工。
基于 Nd:YAG/Nd:YVO4(掺钕钒酸钇)晶体材料(具有较高的非线性系数)为工作物质、 LD 或 LD 阵列(Laser Diode
Array,简写 LDA)为泵浦源开发的 DPSS 全固态紫外激光器是微加工系统的良好候选,
其具有窄脉宽短波长的集中特点,与其他类型激光器相比,在调控脉冲形状、重复频率和光束质量等方面具有较大的灵活性,
其生成的谐波允许用户获得适于多种材料加工的较短波长的光束。目前广泛用于印刷电路板和消费电子产品等具有规模效应的成熟行业中。
比如在不锈钢零件上进行较为浅显的标记(几组线宽和线距为微米层次的线条),没有手感,但用肉眼看有较高的分辨率。我们可以将试样情况描述如下: